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ノボラック型フェノール樹脂、感光性組成物、レジスト材料、塗膜、及びレジスト塗膜
- 专利权人:
- DIC株式会社
- 发明人:
- 今田 知之,長江 教夫,佐藤 勇介
- 申请号:
- JP20160509804
- 公开号:
- JPWO2016103850(A1)
- 申请日:
- 2015.10.08
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 厚膜とした場合でも柔軟性に優れ、しかも、耐熱性、アルカリ現像性、感度、及び解像度に優れる塗膜を得るために好適なノボラック型フェノール樹脂等を提供する。具体的には一般式(1)で表される化合物及び一般式(2)で表される化合物からなる群より選択される1種以上のフェノール系3核体化合物(A)とモノアルデヒド類(B)とポリアルデヒド類(C)とを、酸触媒下で反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂を提供する。[式中、R1、R2及びR3はそれぞれ独立して置換基を有していてもよい炭素原子数1〜8のアルキル基を表し、R4は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよいアリール基を表し、p及びqはそれぞれ独立して1〜4の整数であり、rは0〜4の整数であり、sは1又
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/