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永久膜用感光性組成物、レジスト材料、塗膜、及び永久膜用感光性組成物の製造方法
- 专利权人:
- ＤＩＣ株式会社
- 发明人:
- 今田 知之,木本 誠二,佐藤 勇介
- 申请号：
- JP20150543618
- 公开号：
- JPWO2015190233(A1)
- 申请日:
- 2015.05.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明は、光感度、解像度、耐熱性、及び耐吸湿性に優れており、かつ高温環境下において汚染が生じ難い、永久膜の材料として好適な感光性組成物等を提供することを目的として、一般式（１）で表される構造部位（Ｉ）を繰り返し単位として有しており、一般式（２）で表されるヒドロキシナフタレン類（Ａ）の含有量が樹脂固形分換算で２質量％以下であるヒドロキシナフタレンノボラック樹脂を含有し、硬化剤を含有していない、又は前記樹脂１００質量部に対して５０質量部以下の硬化剤を含有する永久膜用感光性組成物を提供する［式中、Ｒ１は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキル基、又はハロゲン原子を表し、複数存在するＲ１は互いに同一でも異なっていてもよく、Ｒ２は水素原子、アルキル基、又はアリール基
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
