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ナフトール型カリックスアレーン化合物及びその製造方法、感光性組成物、レジスト材料、並びに塗膜
- 专利权人:
- ＤＩＣ株式会社
- 发明人:
- 今田 知之
- 申请号：
- JP20160509801
- 公开号：
- JPWO2016056355(A1)
- 申请日:
- 2015.09.15
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 溶剤溶解性に優れるナフトール型カリックスアレーン化合物と、当該ナフトール型カリックスアレーン化合物の製造方法と、当該ナフトール型カリックスアレーン化合物を含有し、耐熱分解性、アルカリ現像性、光感度、解像度に優れる塗膜が得られる感光性組成物と、当該感光性組成物からなるレジスト材料及び塗膜を提供する。具体的には一般式（１）で表される分子構造からなることを特徴とする、ナフトール型カリックスアレーン化合物［式（１）中、Ｒ１は、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよいアラルキル基、又はハロゲン原子を表し、複数存在するＲ１は、互いに同一でもよく異なっていてもよく、Ｒ２は置換基を有していてもよいアルキル基又は置換基を有していてもよい
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
