分散液組成物及び被研磨体の製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ＡＤＥＫＡ
- 发明人:
- 鈴木 陽介
- 申请号：
- JP20150194296
- 公开号：
- JP2017066296(A)
- 申请日:
- 2015.09.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】シリカ粒子が凝集及び沈殿しにくく、長期にわたって分散状態が保持されうる、研磨液組成物として有用な分散液組成物を提供する。【解決手段】シリカ粒子を分散状態で含有する分散液組成物である。リシン、アルギニン、及び下記一般式（Ｉ）（Ｒ1及びＲ2：炭素原子数１〜４のアルキル基、Ａ：炭素原子数１〜５のアルカンジイル基）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物と、分散媒としての水と、をさらに含有し、上記の化合物の含有量が０．０００５〜１０質量％の範囲であり、ｐＨが８〜１１の範囲である。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
