ナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液、それを含む研磨剤およびそれらの製造方法
- 专利权人:
- 日揮触媒化成株式会社
- 发明人:
- 小松 通郎,西田 広泰,中山 和洋,岩崎 幸博
- 申请号：
- JP20160064714
- 公开号：
- JP6141482(B1)
- 申请日:
- 2016.03.28
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】研磨剤として用いる工程において濃縮安定性に優れるナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液の製造方法の提供。【解決手段】平均粒子径が１〜５００ｎｍの微粒子を含む無機酸化物微粒子分散液と、平均気泡径が５０〜５００ｎｍのナノバブルを含むナノバブル水溶液とを含む溶液を、５〜８０℃に保持しつつ、混合する工程を備える、ナノバブル含有無機酸化物微粒子分散液の製造方法。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
