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超純粋ガス環境において気相から多層有機薄膜をプリンティングするための装置及び方法
- 专利权人:
- ユニバーサル ディスプレイ コーポレイション
- 发明人:
- グレゴリー・マグロウ,ウィリアム・イー・クイン,グレッグ・コッタス,シッダールタ・ハリクリシュナ・モハン,マシュー・キング
- 申请号：
- JP20160200885
- 公开号：
- JP2017103213(A)
- 申请日:
- 2016.10.12
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】同一又は異なる材料の多数の層を１つの堆積チャンバ中で堆積することができ、異なる堆積チャンバ間での移動の必要がなく、且つ層間の交差汚染の機会を減少させる、有機材料を基板上に堆積するためのシステムを提供する。【解決手段】プリントヘッドが動作するチャンバ環境に由来する材料が、有機材料源と流体連通する搬送アパチャ６０３を含むノズルブロックの、搬送アパチャ６０３から発生する非凝縮ガス流が捕捉される排出アパチャ６０４に到達することを防ぐシールドガス流を提供するように配置される、有機プリンティング堆積システム。【選択図】図６
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
