荷電粒子線分析装置および分析方法
- 专利权人:
- 株式会社日立製作所
- 发明人:
- 阿南 義弘,高口 雅成
- 申请号：
- JP20160523066
- 公开号：
- JPWO2015181961(A1)
- 申请日:
- 2014.05.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 重金属試料中に含まれる微小な軽元素を、効率良く高感度に分析できる荷電粒子線分析装置を提供するために、ＷＤＸ検出器を備えた荷電粒子線分析装置において、標準試料を用いて得られた平均原子番号とＷＤＸバックグランド強度との相関データベースが格納された記憶部１２６と、試料１２９の平均原子番号を算出する手段１４７及び試料１２９の平均原子番号と相関データベースとから求められるＷＤＸバックグランド強度を試料１２９のＷＤＸスペクトルから除去する手段を含むＷＤＸバックグランド処理手段１４６と、を有する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
