荷電粒子反射器、質量分析器、およびイメージング質量分析装置
- 专利权人:
- キヤノン株式会社
- 发明人:
- 岩崎 光太
- 申请号：
- JP20150234310
- 公开号：
- JP2017103068(A)
- 申请日:
- 2015.11.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 空間分解能の低下を抑制することのできる荷電粒子反射器を提供する。【解決手段】 荷電粒子反射器９は、荷電粒子が入射する開口部をそれぞれ有する複数の開口電極９１を有し、荷電粒子を反射する。複数の開口電極９１の少なくとも１つが、複数の開口電極９１がそれぞれ有する開口部の中心軸を挟んで対向配置された２つの対向電極（９０１ａおよび９０１ｂ、９０２ａおよび９０２ｂ）からなる対電極（９０１、９０２）を、少なくとも２対有する多重極電極である。【選択図】 図１
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