タンタル酸リチウム単結晶の育成装置及び育成方法
- 专利权人:
- 株式会社福田結晶技術研究所
- 发明人:
- 福田 承生
- 申请号:
- JP20160534449
- 公开号:
- JPWO2016010040(A1)
- 申请日:
- 2015.07.14
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 安価であり、微小な気泡、サブグレインの発生が無く、より高寿命な単結晶育成装置及び育成方法を提供することを目的とする。坩堝4内の原料を抵抗加熱ヒーター6により加熱し、溶融した原料融液5に種結晶3を接触させた後に、種結晶3を引き上げて単結晶を育成させるタンタル酸リチウム単結晶の育成装置であって、 坩堝4は、タングステン、モリブデン又はタンタルからなる坩堝本体4aの内表面に、ロジウム含有量が25−45%(質量%以下同じ)のPt−Rh合金からなる被覆層4bを有している。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心