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波束监视系统和粒子束照射系统
- 专利权人:
- 株式会社日立制作所
- 发明人:
- 岩本朋久,堀能士,松下尊良,森山国夫,田所昌宏
- 申请号：
- CN201310054030.6
- 公开号：
- CN103285525A
- 申请日:
- 2013.02.20
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种波束监视系统和粒子束照射系统。在扫描带电粒子的细的波束进行照射的方式中，为了进行精度高的照射，需要细波束，处于测定波束轮廓的多线型监视器的每单位长的线数增加的倾向，但是同时照射波束的导线是全部导线中很少一部分。作为仅对同时照射波束的范围相当的数量的线信号进行信号处理的方式，通过对照射范围的相当的数量的线连接其他线，提供低成本且高可靠性的波束监视系统。波束监视系统在测定带电粒子束的波束轮廓的多线型监视器中，对从多个线输出的信号进行分割，以相同数量的线进行分组，将各组的信号各取出一个并连接，按照属于组的线数的件数汇总，连接到存储了连接信息的信号处理部。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
