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带电粒子束照射装置
专利权人:
住友重机械工业株式会社
发明人:
立川敏树
申请号:
CN200910130166.4
公开号:
CN101546617B
申请日:
2009.03.27
申请国别(地区):
CN
年份:
2012
代理人:
摘要:
本发明提供一种能够用摆动法和扫描法这两种方法照射带电粒子线的带电粒子线照射装置。带电粒子线照射装置(1)具有用来将带电粒子线(R)扫描的扫描电磁铁(3a/3b)、用摆动法照射带电粒子线(R)的摆动照射机构(5)、用扫描法照射带电粒子线(R)的扫描照射机构(6)、控制摆动照射机构(5)和扫描照射机构(6)的控制装置(7)。带电粒子线照射装置(1)利用控制装置(7)使摆动照射机构(5)或扫描照射机构(6)中的某一个动作,同时使另一个成为退避状态以便不妨碍带电粒子线(R)的照射。由此,能够一方不影响另一方地分别实现摆动法照射和扫描法照射。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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