射束监视系统以及粒子束照射系统
- 专利权人:
- 株式会社日立制作所
- 发明人:
- 堀能士,森山国夫,岩本朋久,田所昌宏
- 申请号:
- CN201410377913.5
- 公开号:
- CN104338244A
- 申请日:
- 2014.08.04
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明提供一种射束监视系统以及粒子束照射系统,能够进行准确的位置确定,并能够使是适当的照射的判断高精度化。射束监视系统,由将相邻的多个电极丝作为一个组的多个组构成电荷收集电极。另外,以对于某汇集的连续的测量通道,至少2个通道在物理上不连续的方式通过与属于组的电极丝相同个数的布线将全部电极丝与信号处理装置的通道连接起来,使得从同一布线输入从各个组中选择出的一个电极丝输出的检测信号。进而,信号处理装置22求出表示所输入的检测信号是属于哪个组的电极丝的检测信号的组信息,将包含组信息的处理信号输出到射束监视控制装置,求出通过了电极丝的带电粒子束的位置和射束宽度。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心