PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small-piece thin film manufacturing method in which a thin film of thickness even of a nanometer order can be peeled from a substrate and be cut into small pieces under a drying condition.SOLUTION: A manufacturing method is configured to comprise an undiluted solution preparation step in which a thin film undiluted solution including a film-forming agent is prepared, a thin film formation step in which the prepared thin film undiluted solution is applied on a base film 3 and is desiccated, to form a thin film 1, a before-peeling cutting step in which the thin film supported on the base film 3 is cut without cutting the whole thickness of the base film 3, and a peeling step in which a gas-permeable carrier film 4 is superimposed on the thin film 1 on the base film 3, the base film 3 is relatively moved to such a direction that the base film 3 is separated from the carrier film 4 while sucking air through the carrier film 4, the thin film 1 is peeled from the base film 3 and the thin film 1 is supported by the carrier film 4.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】厚さがナノメートルオーダーの薄膜であっても、乾燥状態で基体から剥離して小片に切断することができる小片薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】製造方法を、フィルム形成剤を含有する薄膜原液を調製する原液調製工程と、調製された薄膜原液をベースフィルム3上にコーティングし乾燥させて薄膜1とする薄膜形成工程と、ベースフィルム3を全厚さにわたり切断することなく、ベースフィルム3に支持された薄膜1を切断する剥離前切断工程と、ベースフィルム3上の薄膜1に、通気性を有するキャリアフィル4ムを重ね合わせ、キャリアフィルム4を通して吸気した状態でベースフィルム3をキャリアフィルム4に対して離反する方向に相対的に移動させ、ベースフィルム3から薄膜1を剥離すると共に、薄膜1をキャリアフィルム4に支持させる剥離工程とを具備する構成とする。【選択図】図1
