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粒子分析方法及び粒子分析装置
- 专利权人:
- 新日鐵住金株式会社
- 发明人:
- 西野宮 卓,辻 典宏
- 申请号：
- JP20150227597
- 公开号：
- JP2017096701(A)
- 申请日:
- 2015.11.20
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】周囲が液体によって被覆されている粒子であっても、粒子の粒子径に関する情報を含む粒子の構造を正確に分析すること。【解決手段】本発明に係る粒子分析方法は、平均粒子径が３μｍ以下の粒子に対して、一次イオンの照射条件が１×１０１４〜１×１０１７イオン／ｃｍ２に設定された集束イオンビームを照射して粒子の表面を研削する研削ステップと、研削ステップの前後で実施され、一次イオンの照射条件が１×１０１４イオン／ｃｍ２未満に設定された集束イオンビームを粒子に照射して粒子から放出される二次イオンを検出し、粒子の構造を解析する解析ステップと、研削ステップの前後での粒子の構造に関する解析結果に基づいて、粒子の表面における液体の存在の有無を判断する判断ステップと、を含み、液体が存在していると判断
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
