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微粒子の顕微分析方法、および該微粒子の顕微分析方法に用いる分析装置
- 专利权人:
- 株式会社日産アーク
- 发明人:
- 今井 英人,茂木 昌都,荒尾 正純,大脇 創,チュオン ズイ
- 申请号：
- JP20150223834
- 公开号：
- JP2017090374(A)
- 申请日:
- 2015.11.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】有限的周期性を有するナノ粒子の形状をｘ、ｙ、およびｚ方向全てについて、原子レベルの分解能で予測および解析する共に、その形状解析が材料特性（物性）を解き明かせる微粒子の顕微分析方法、および該微粒子の顕微分析方法に用いる分析装置を提供する。【解決手段】平行ビームを微粒子に照射するビーム照射工程と、電子回折図形を撮影する検出工程と、電子回折図形の回折スポットを解析して微粒子の形状を決定する配列確認工程とを含み、配列確認工程が、メインスポット間のラウエサブスポット解析し微粒子の形状を決定するものであることを特徴とする。【選択図】図６
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
