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脆性材料基板の分断方法
专利权人:
三星ダイヤモンド工業株式会社
发明人:
曽山 浩
申请号:
JP20160511500
公开号:
JPWO2015151755(A1)
申请日:
2015.03.12
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
刃先(51)の突起部(PP)が脆性材料基板(4)の第1の辺(ED1)および刃先(51)の側部(PS)の間に配置されかつ刃先(51)の側部(PS)が刃先(51)の突起部(PP)と脆性材料基板(4)の第2の辺(ED2)の間に配置されるように刃先(51)が脆性材料基板(4)に押し付けられる。脆性材料基板(4)上に、第1および第2の辺(ED1、ED2)のうち第1の辺(ED1)に近い第1の位置と、第1および第2の辺(ED1、ED2)のうち第2の辺(ED2)に近い第2の位置との間で、かき傷によるスクライブラインが形成される。スクライブラインが形成された後に、スクライブラインに沿って第2の位置から第1の位置の方へ、厚さ方向(DT)におけるクラックを伸展させることによってクラックラインが形
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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