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脆性材料基板における垂直クラックの形成方法および脆性材料基板の分断方法
- 专利权人:
- 三星ダイヤモンド工業株式会社
- 发明人:
- 岩坪 佑磨,曽山 浩
- 申请号：
- JP20150147590
- 公开号：
- JP2017024349(A)
- 申请日:
- 2015.07.27
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】脆性材料基板に高い確実性にて垂直クラックを形成することができる方法を提供する。【解決手段】脆性材料基板への垂直クラックの形成方法が、一方主面にライン状の溝部であるトレンチラインを形成するトレンチライン形成工程と、等間隔に複数の溝を設けた刃先を外周部に備えるスクライビングホイールを圧接転動させることによって、トレンチラインに交差するアシストラインを形成するアシストライン形成工程と、を備え、トレンチライン形成工程においては、直下においてクラックレス状態が維持されるようにトレンチラインを形成し、アシストライン形成工程においては、複数の溝が外周に対して非対称な形状にて形成されたスクライビングホイールを用いてアシストラインを形成し、両ラインとの交点を開始点としてトレンチライン
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
