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薄膜トランジスタ基板、薄膜トランジスタ基板の製造方法、液晶表示装置
专利权人:
三菱電機株式会社
发明人:
平野 梨伊,中川 直紀,村上 隆昭,井上 和式,小田 耕治
申请号:
JP20160568375
公开号:
JPWO2016111267(A1)
申请日:
2016.01.05
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
本発明は液晶表示装置を構成する薄膜トランジスタ基板に関し、ゲート電極と、ゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜を介して、ゲート電極に対向する位置に設けられた半導体層と、半導体層を覆うチャネル保護膜と、チャネル保護膜上を覆う保護膜と、保護膜およびチャネル保護膜を貫通するように設けられた第1のコンタクトホールを介して半導体層に接するソース電極とドレイン電極を有する薄膜トランジスタと、ドレイン電極に電気的に接続される第1の電極と、ゲート電極から延在するゲート配線と、ソース電極に電気的に接続されるソース配線と、を備え、ソース配線とソース電極および第1の電極とドレイン電極は、それぞれ保護膜を貫通する第2のコンタクトホールを介して電気的に接続され、第1の電極とソース配線は、第1の
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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