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一种制备厚膜SnO2气敏元件的方法
专利权人:
陕西易阳科技有限公司
发明人:
张俊
申请号:
CN201410544096.8
公开号:
CN104316568A
申请日:
2014.10.15
申请国别(地区):
中国
年份:
2015
代理人:
刘斌
摘要:
制备厚膜SnO2气敏元件的方法,属于电气元件制备领域,包括如下步骤:(1)将分析纯SCl4·5H2O用去离子水配制溶液;室温下搅拌同时向溶液中滴入纯氨水,形成白色胶状沉淀时,加入有机分散剂,pH值接近3时停止滴加氨水,继续搅拌后静置;(2)用去离子水充分洗涤,至滤液中无Cl;用无水乙醇洗涤沉淀物2~3次,经超声分散后置于烘箱,加热处理后得SnO2纳米粉体;(3)在SnO2粉体中加添加剂和无机粘结剂;充分球磨混合后,用有机粘结剂和粉料调制成丝网印刷厚膜浆料;在已制备好铂电极的氧化铝基片上印制SnO2膜;(4)烧结炉中对其进行热处理电老化。通过对其工艺过程的改进,使所得气敏元件的灵敏度大幅提高,适用的范围也得到扩大,本方法操作简单且易于推广使用。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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