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一种双电容厚膜陶瓷感压元件的制备方法
- 专利权人:
- 中国科学院合肥物质科学研究院
- 发明人:
- 李民强,马亦武,王英先,唐力强,李鹏
- 申请号：
- CN200610040162.3
- 公开号：
- CN100442036C
- 申请日:
- 2006.04.28
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2008
- 代理人:
- 赵晓薇
- 摘要：
- 本发明公开了一种双电容厚膜陶瓷感压元件的制备方法，包括绘制平面化设计版图、电极印刷、粘结密封层的丝网印刷及烧结制备工艺。绘制平面化设计版图，经照相制版、曝光显影，将原图转印于丝网上构成掩模网版，通过厚膜网版将Pd/Ag电极浆料淀积在陶瓷盖板和陶瓷弹性膜片上，经流平、烘干、烧结形成电极；通过粘结网板在陶瓷弹性膜片及陶瓷盖板边缘印刷高温粘结白玻璃层，经流平、烘干干燥后烧结白玻璃；在公共电极上印刷、烘干、烧结一层二氧化硅绝缘膜，以防止感压元件过载时短接，印刷低温粘结玻璃层后，将上下电极粘结形成双电容厚膜陶瓷感压元件结构且经烧结制成。该发明的制备方法成本低，工艺实现相对容易，可靠性好，适于批量生产。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
