PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection apparatus which obtains data of a subject with less distortion and excellent visibility even when higher frame rate is realized in conjunction with higher resolution.SOLUTION: An inspection apparatus includes: a first scan member scanning a subject with illumination light in a main scan direction in a reciprocating manner； a second scan member scanning the subject at a constant speed in a sub-scan direction； scan control means allowing the first and second scan members to scan two-dimensionally the subject with the illumination light in a first field in a data acquisition range in the subject and in a second field different from the first field； and data acquisition means acquiring data based on return light from the first and second fields. The second field is set by shifting the scan start position of two-dimensional scan in the first field by a predetermined amount in the sub-scan direction. In the two-dimensional scan of the illumination light, the predetermined amount is determined such that the closer to the scan center in the main scan direction within the data acquisition range, the more uniform the distances in the first and second fields in the sub-scan direction.SELECTED DRAWING: Figure 7【課題】高解像度化に併せ、高フレームレート化を進めた場合であっても、歪が少なく視認性のよい被検体のデータを取得する検査装置を、提供する。【解決手段】 照明光を被検体における主走査方向で往復走査する第一の走査部材と、副走査方向で等速で走査する第二の走査部材と、これら走査部材により、照明光を被検体におけるデータ取得範囲における第一フィールドおよび第一フィールドとは異なる第二フィールドで２次元走査させる走査制御手段と、第一フィールドおよび第二フィールドからの戻り光に基づいてデータを取得するデータ取得手段と、を備えた検査装置において、第一フィールドの２次元走査の走査開始位置を副走査方向に所定量ずらして第二フィールドを設定し、照明光の２次元走査において、データ取得範囲における主走査方向の走査中心に近づくにつれ第一フィールドと第二フィールドの副走査方向の間隔が等間隔に近づくように、所定量を定める。【選択図】 図７
