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撮像装置
专利权人:
CANON INC
发明人:
KUSUMOTO HIROSHI,楠本 博
申请号:
JP2012089354
公开号:
JP2013031634A
申请日:
2012.04.10
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a width in a scanning direction with respect to an arrangement of measurement lights and to obtain a tomogram with a high SN ratio.SOLUTION: An imaging apparatus adjusts the arrangement of a plurality of measurement lights in an object to be examined with respect to a scanning direction of a scanning means for scanning the plurality of measurement lights, based on a detection result of a detection means for detecting the arrangement of the plurality of measurement lights.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】計測光の配列に対する走査方向の幅を小さくし、高SN比な断層像を得る。【解決手段】本発明に係る撮像装置は、被検査物における前記複数の計測光の配列を検出する検出手段の検出結果に基づいて、複数の計測光を走査する走査手段の走査方向に対する上記配列を調整する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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