To provide an imaging device, an imaging method, and a program capable of repeating scanning of light on the same scan line when scanning light so as to draw a Lissajous figure to obtain information of an object to be inspected.SOLUTION: First scanning means for reciprocally scanning light in a first direction in a first cycle on an object to be inspected, first scanning means which reciprocally scans light in a first direction in a first cycle, Second scanning means for reciprocally scanning the light in a second direction, an image generating means for generating an image of the object to be inspected using information obtained from light returning from the object to be inspected of light, Wherein control means for delaying the scanning of the light of the second scanning means by a predetermined time with respect to the light scanning of the first scanning means is provided.(FIG.【課題】リサージュ様図形を描くように光を走査して被検査物の情報を得る際に、同一走査線上での光の走査の繰り返しを可能とする撮像装置、撮像方法及びプログラムを提供する。【解決手段】被検査物上で、第1の周期で第1の方向に光を往復走査する第1の走査手段と、被検査物上で、第2の周期で第1の方向とは異なる第2の方向に前記光を往復走査する第2の走査手段と、光の前記被検査物からの戻り光より得られた情報を用いて前記被検査物の画像を生成する画像生成手段と、を備える撮像装置において、第1の走査手段の光の走査に対して第2の走査手段の光の走査を所定時間ずつ遅延させる制御手段を配する。【選択図】図5
