気体分岐装置及びそれを用いたガラス微粒子堆積体の製造方法
- 专利权人:
- 古河電気工業株式会社
- 发明人:
- 高橋 正
- 申请号：
- JP20160523347
- 公开号：
- JPWO2016111250(A1)
- 申请日:
- 2016.01.07
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 第１〜第Ｎの被供給部（１０−１〜１０−５）に気体を分岐して供給する気体分岐装置（１００）であって、第１〜第Ｎの配管（２０−１〜２０−５）とを有し、第１〜第Ｎの配管のそれぞれが、下流端側で第１〜第Ｎの分岐配管に分岐されており、１以上Ｎ以下の整数ｉのそれぞれについて、第１〜第Ｎの配管の第ｉの分岐配管が、それぞれ第ｉの被供給部に共通して接続され、第１〜第Ｎの配管の第ｉの分岐配管にバルブ（ＡＶｘｙ）がそれぞれ設けられている。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
