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微粒子製造装置及び微粒子製造方法
- 专利权人:
- パナソニックＩＰマネジメント株式会社
- 发明人:
- 永井 久雄,小岩崎 剛,末次 大輔,大熊 崇文
- 申请号：
- JP20150221911
- 公开号：
- JP2017087155(A)
- 申请日:
- 2015.11.12
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 熱プラズマで熱せられたガスで投入材料を加熱することで、材料の蒸発効率を上げ、微粒子の生産量の増加と低コスト化できる微粒子製造装置及び方法を提供する。【解決手段】 真空チャンバー１と、真空チャンバーに接続されて材料粒子３０を真空チャンバー内に材料供給口１２から供給する材料供給装置１０と、真空チャンバーに設置したプラズマを発生させる電極４と、真空チャンバーに接続されて微粒子を回収する微粒子回収装置３とを有して、真空チャンバー内で放電を生成させて前記材料から前記微粒子を製造する装置であって、前記回収装置と前記材料供給装置は、配管２０で接続されており、前記配管を通して、前記プラズマで加熱した前記チャンバー内のガスの熱で前記材料を加熱させる材料加熱循環装置８０を有する。【選択
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
