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金属用研磨液及び研磨方法
- 专利权人:
- 日立化成株式会社
- 发明人:
- 市毛 康裕,芳賀 浩二,近藤 誠一
- 申请号：
- JP20140557432
- 公开号：
- JPWO2014112418(A1)
- 申请日:
- 2014.01.08
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 金属の少なくとも一部を研磨するための金属用研磨液であって、（Ａ）アミノ酸と、（Ｂ）１−ヒドロキシベンゾトリアゾールと、（Ｃ）ベンゾトリアゾール骨格を有する化合物（但し、１−ヒドロキシベンゾトリアゾールを除く）と、（Ｄ）（メタ）アクリル酸由来の構造単位、（メタ）アクリル酸塩由来の構造単位、（メタ）アクリルアミド由来の構造単位、及び、アミノ（メタ）アクリルアミド由来の構造単位からなる群より選ばれる少なくとも一種を有する重合体と、を含有し、（Ｄ）成分の重量平均分子量が１００００以上であり、（Ｄ）成分の含有量に対する（Ｂ）成分の含有量及び（Ｃ）成分の含有量の合計の質量比が０．１５〜３．００であり、ｐＨが３．０〜６．０である、金属用研磨液。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
