合金材料用研磨組成物及び合金材料の研磨方法
- 专利权人:
- 株式会社フジミインコーポレーテッド
- 发明人:
- ▲高▼橋 洋平,天▲高▼ 恭祐,鎌田 透,森永 均
- 申请号：
- JP20160074629
- 公开号：
- JP6085708(B1)
- 申请日:
- 2016.04.01
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】合金材料の研磨特性を向上させた合金材料研磨組成物及びそれを用いた合金材料の研磨方法を提供する。【解決手段】本発明の合金材料用研磨組成物は、合金材料を研磨対象とし、体積基準における積算粒子径分布の大粒子径側からの積算体積が１０％，５０％，９０％となる粒子径をそれぞれＤ１０，Ｄ５０，Ｄ９０としたとき、Ｄ５０が３．１〜１２μｍであり、Ｄ１０とＤ９０との差をＤ５０で除した値が０．７〜２．４である粒子径分布を有する酸化アルミニウム粒子を含んでいる。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
