金属用研磨液及び研磨方法
- 专利权人:
- 日立化成株式会社
- 发明人:
- 市毛 康裕,大内 真弓,芳賀 浩二,近藤 誠一
- 申请号：
- JP20160128843
- 公开号：
- JP2018002797(A)
- 申请日:
- 2016.06.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】基板表面にコバルト含有膜を有する基盤を腐食抑制しつつ研磨可能な金属用研磨液、及び、当該金属用研磨液を用いた研磨方法を提供することを目的とする。【解決手段】（Ａ）アミノ酸と、（Ｂ）ベンゾトリアゾール骨格を有する防食剤と、（Ｃ）有機酸と、を含有し、ｐＨが４．５〜９．０であり、基板表面のコバルト含有膜を研磨するための金属用研磨液及びこれを用いた研磨方法。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
