金属用研磨液及び研磨方法
- 专利权人:
- 日立化成株式会社
- 发明人:
- 市毛 康裕,芳賀 浩二,近藤 誠一
- 申请号：
- JP20160236606
- 公开号：
- JP2017085124(A)
- 申请日:
- 2016.12.06
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】高い研磨速度と低いエッチング速度とをより高いレベルで両立し、より信頼性の高い埋め込みパターン形成を可能とする金属用研磨液を提供すること。【解決手段】Ａ成分：アミノ酸を含む金属溶解剤、Ｂ成分：ベンゾトリアゾール骨格を有する化合物、Ｃ成分：重量平均分子量１０，０００以上のアクリル酸ポリマを含有し、上記Ｂ成分と上記Ｃ成分との質量比（Ｂ成分：Ｃ成分）が１：１〜１：５である金属用研磨液。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
