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ポジ型感光性樹脂組成物、それを用いた硬化パターンの製造方法、凸パターン基板の製造方法および発光素子の製造方法
专利权人:
東レ株式会社
发明人:
谷口 千香,鴨川 政雄,諏訪 充史
申请号:
JP20120275635
公开号:
JP6115115(B2)
申请日:
2012.12.18
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positive photosensitive resin composition suitable for obtaining a projection pattern of SiO, that is, the resin composition having good development adhesiveness during development and capable of maintaining a fine pattern without causing reflow after baking.SOLUTION: The positive photosensitive resin composition comprises: (a) a polysiloxane synthesized by hydrolyzing and condensing organosilane containing a silane compound expressed by general formula (1) described below and a silane compound expressed by general formula (2) described below; (b) a naphthoquinone diazide compound; and (c) a solvent.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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