感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法、並びに半導体装置
- 专利权人:
- 旭化成株式会社
- 发明人:
- 安西 信裕,笹野 大輔,古賀 尋子,井上 泰平,頼末 友裕
- 申请号：
- JP20160508712
- 公开号：
- JPWO2015141618(A1)
- 申请日:
- 2015.03.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 感光性樹脂組成物は、（Ａ）ポリイミド前駆体であるポリアミド酸、ポリアミド酸エステル、ポリアミド酸塩、ポリアミド酸アミド、ポリオキサゾール前駆体となり得るポリヒドロキシアミド、ポリアミノアミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾイミダゾール、ポリベンゾチアゾール、及びフェノール樹脂から成る群より選ばれる少なくとも１種の樹脂；（Ｂ）感光剤；及び（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート及び分子量１０００未満の低分子量イミド化合物から成る群より選ばれる少なくとも１種を含む。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
