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感光性樹脂組成物、及び硬化レリーフパターンの製造方法
专利权人:
旭化成株式会社
发明人:
貴田 祐介,吉田 雅彦,湯ノ口 智恵
申请号:
JP20150215557
公开号:
JP2017090486(A)
申请日:
2015.11.02
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
【課題】感度に優れ、300℃以下の低温における硬化が可能であり、硬化膜の引張伸度に優れ、かつ硬化レリーフパターンの形状が良好である、感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)特定のポリフェノール構造を有する樹脂、(B)光酸発生剤、及び(C)アルコキシメチル基又はヒドロキシメチル基に置換されたフェノール構造を有する架橋剤を含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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