感光性樹脂組成物、感光性エレメント、硬化物、レジストパターンの形成方法、及び、プリント配線板の製造方法
- 专利权人:
- 日立化成株式会社
- 发明人:
- 名越 俊昌,田中 庸司
- 申请号:
- JP20150202071
- 公开号:
- JP2017075988(A)
- 申请日:
- 2015.10.13
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】解像度及び密着性に優れ、且つ、硬化後の剥離特性に優れる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】カルボキシル基を有するアゾ系重合開始剤の存在下における(メタ)アクリル酸の反応に由来する構造を有するバインダーポリマーと、エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有し、前記バインダーポリマーの重量平均分子量が100000以下である、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心