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薄膜の成膜方法及び成膜装置
- 专利权人:
- 株式会社シンクロン
- 发明人:
- 佐守 真悟,高瀬 慎一,菅原 聡,長江 亦周,姜 友松
- 申请号：
- JP20150540940
- 公开号：
- JPWO2015178193(A1)
- 申请日:
- 2015.05.01
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 耐久性を備えた薄膜を低コストで成膜する方法を提供する。成膜装置（１）は、基板（１００）が内部下方に配置される真空容器（１１）と、該容器（１１）内を排気する真空ポンプ（１５）と、容器（１１）外部に設けられた、成膜剤溶液（２１）を貯蔵する貯蔵容器（２３）と、成膜剤溶液（２１）を吐出可能となる吐出部（１９）を一端に持つノズル（１７）と、貯蔵容器（２３）内に貯蔵される成膜剤溶液（２１）の液面を加圧する加圧手段（ガス供給源（２９）など）を含む。成膜剤溶液（２１）として、第１材料（Ｓ１）と該Ｓ１の蒸気圧（Ｐ１）よりも高い蒸気圧（Ｐ２）を持つ第２材料（Ｓ２）とを含む２種類以上の材料からなり、第１材料の濃度が０．０１重量％以上の溶液を用いる。この成膜剤溶液（２１）を、Ｐ２以上の圧力（但し、
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
