薄膜の成膜方法及び成膜装置
- 专利权人:
- 株式会社シンクロン
- 发明人:
- 佐守 真悟,高瀬 慎一,菅原 聡,長江 亦周,姜 友松
- 申请号：
- JP20150540934
- 公开号：
- JPWO2015177916(A1)
- 申请日:
- 2014.05.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 耐久性を備えた薄膜を低コストで成膜する方法を提供する。その成膜方法は、成膜装置１を用いる。この装置１は、基板１００が内部下方に配置される真空容器１１と、該容器１１内を排気する真空ポンプ１５と、容器１１外部に設けられた、成膜剤溶液２１を貯蔵する貯蔵容器２３と、成膜剤溶液２１を吐出可能となる吐出部１９を一端に持つノズル１７とを含む。成膜剤溶液２１として、２種類以上の材料を含む溶液を用いる。この成膜剤溶液２１を、該溶液を構成する各材料の蒸気圧に基づいて設定される圧力の雰囲気下で、基板に吐出する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
