本発明は、ペットボトル等の容器の内面、外面のいずれか一方、または両方にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）膜等のガスバリア性の高い薄膜を成膜する成膜装置を提供する。成膜装置は、内部が真空に保たれ、内部に配置された発熱体を用いて複数の容器の成膜を行う成膜チャンバ（６）と、成膜チャンバ（６）に連通し、内部が真空引きされる少なくとも１つのゲートチャンバ（２），（４），（８），（１０）と、ゲートチャンバ（２），（４），（８），（１０）を経由して複数の容器を保持した取扱容器（５６）を成膜チャンバ（６）に搬入し、成膜チャンバ（６）から搬出する搬送機構（４１）〜（４５）とを備え、成膜チャンバ（６）での成膜は、複数の容器が取扱容器（５６）に保持された状態で行われる。
