KANG, BYUNG JOO,강병주,JO, JI SUNG,조지성,PARK, CHANG KUN,박창근
申请号：
KR1020110102571
公开号：
KR1012533340000B1
申请日:
2011.10.07
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要：
PURPOSE: An intraocular pressure sensor and a manufacturing method thereof are provided to easily move a first electrode by reducing a contact area between a base film and the first electrode.CONSTITUTION: A first substrate is prepared(S110). A base film is deposited on the lower side of the first substrate(S120). The upper side of the base film is exposed by etching the first substrate(S130). The center of the exposed base film is coated with epoxy(S140). A first electrode is arranged in the epoxy coating part of the base film(S150).COPYRIGHT KIPO 2013[Reference numerals] (S110) Preparing a first substrate (S120) Forming a base film (S130) Etching the first substrate and exposing the base film (S140) Coating the epoxy on the base film (S150) Arranging a first electrode on the base film (S160) Preparing a second substrate (S170) Forming a support film and a second electrode on the second substrate (S180) Etching the second substrate and exposing the support film (S190) Arranging the second substrate on the first substrate본 발명은 안압의 측정 범위와 측정 효율을 보다 향상 시킬 수 있는 안압 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제1 측면에 따르면, 환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 안압 센서를 제작하는 방법으로서, 제1 기판을 준비하는 단계 상기 제1 기판의 하부면에 베이스 필름을 증착 형성하는 단계 상기 제1 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 베이스 필름의 상부면이 노출되도록 하는 단계 노출된 상기 베이스 필름의 중앙에 에폭시를 도포하는 단계 상기 베이스 필름의 에폭시 도포 부위에 제1 전극을 배치하는 단계 제2 기판을 준비하는 단계 상기 제2 기판 상에 지지 필름을 증착 형성하는 단계 상기 지지 필름 상에 제2 전극을 형성하는 단계 상기 제2 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 지지 필름의 하부면이 노출되도록 하는 단계 및 상기 제1 기판 상에 상기 제2 기판을 배치하는 단계를 포함하는 안압센서 제조 방법을 제공한다.
