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放射線検出装置及びその製造方法、並びに、放射線検出システム
专利权人:
CANON INC
发明人:
SASAKI YASUTO,佐々木 慶人,SARUTA HISASHIRO,猿田 尚志郎,ICHIMURA TOMOAKI,市村 知昭
申请号:
JP2015223212
公开号:
JP2017090340A
申请日:
2015.11.13
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mechanism that suppresses reduction in luminance of light to be incident in a photoelectric conversion unit beneath a corner part of scintillator layer.SOLUTION: A radiation detection device manufacturing method includes the steps of: forming a sensor panel including a photoelectric conversion unit 112 converting incident light into an electric signal and forming a scintillator layer 121 converting radiation into light on a surface of the sensor panel so as to cover above the photoelectric conversion unit 112. The step of forming the sensor panel includes a step of forming a high surface energy unit 114 higher in a surface energy than that of a second region in a first region in contact with at least a corner part of the scintillator layer of the surface of the sensor panel, excluding the first region.SELECTED DRAWING: Figure 7-1COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】シンチレータ層の角部の下方にある光電変換部において入射する光の輝度低下を抑制する仕組みを提供する。【解決手段】入射した光を電気信号に変換する光電変換部112を含むセンサパネルを形成する工程と、センサパネルの表面上に光電変換部112の上方を覆うように、放射線を光に変換するシンチレータ層121を形成する工程とを有し、センサパネルを形成する工程は、センサパネルの表面のうち、少なくともシンチレータ層の角部と接触する第1の領域に、当該第1の領域を除く第2の領域よりも表面エネルギーが高い高表面エネルギー部114を形成する工程を含む。【選択図】図7-1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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