PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify a manufacturing process of a photoelectric conversion element.SOLUTION: The method of manufacturing a photoelectric conversion element 14 includes steps of: forming a first electrode 412 heating the first electrode 412 to generate a hillock 402 on a surface of the first electrode 412 forming a second electrode 414 having a concavo-convex structure 404 reflecting the hillock 402 on the surface of the first electrode 412 and forming a photoelectric conversion layer 43 including a chalcopyrite type semiconductor on the second electrode 414.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】光電変換素子の製造工程を簡素化する。【解決手段】光電変換素子14の製造方法は、第1電極412を形成する工程と、第1電極412を加熱することにより第1電極412の表面にヒロック402を発生させる工程と、ヒロック402を表面に反映した凹凸構造404を有する第2電極414を第1電極412上に形成する工程と、カルコパイライト型半導体を含む光電変換層43を第2電極414上に形成する工程とを含む。【選択図】図2
