Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Schneiden oder Trennen von Feststoffen mittels energetischer Strahlung. In einem handgeführten Bearbeitungskopf (19) wird ein Bearbeitungsstrahl (13) über eine dynamische Strahlablenkeinheit (10) durch eine Strahlaustrittsöffnung geführt, durch die der Bearbeitungsstrahl (13) auf einen Bearbeitungsort (14) gerichtet werden kann. Durch eine Bilderfassungseinheit (17) werden während der Bearbeitung kontinuierlich Bilder eines den Bearbeitungsort (14) umfassenden Bereiches des Feststoffs (15) aufgenommen. Eine Bildauswerte- und Steuereinheit ermittelt aus den Bildern eine Fehlbewegung bei der manuellen Führung des Bearbeitungskopfes (19) und steuert die dynamische Strahlablenkeinheit (10) zu einer Strahllagekorrektur an. Die Strahlaustrittsöffnung ist an einem Ende eines Tubus (19) ausgebildet, über den ein Schaft (20) hinausragt, der er sich in die Schnittfuge (16) am Feststoff (15) einführen lässt und dadurch eine laterale Führung des Tubus (19) während der Bearbeitung ermöglicht. Mit der vorgeschlagenen Vorrichtung und dem zugehörigen Verfahren können bei der Durchführung handgeführter Schnitt- und Trennvorgänge in Feststoffen schmale Schnittfugenbreiten mit hoher Qualität erzeugt werden.The invention relates to a method and a device for cutting or separating solid materials by means of energetic radiation. In a hand-held machining head (19) a machining beam (13) is guided via a dynamic beam deflecting unit (10) through a beam outlet opening, by means of which the machining beam (13) can be directed to a machining location. During the machining, images of an area of the solid material (15) comprising the machining location (14) are continuously taken during the machining by means of an image recording unit (17). An image evaluation and control unit determines from the images a wrong movement when the machining head (19) is guided manually and actuates the dynamic beam deflecting unit for the p
