To provide a precision apparatus capable of being reduced in size and using a drying agent also solving a problem of dust emission properties, a moisture absorbent used therefor, a manufacturing method for the moisture absorbent and a manufacturing method for the precision apparatus.SOLUTION: A precision apparatus comprises a moisture absorbent in an internal space, and the moisture absorbent is a solid matter of which a surface has water resistance. Or, the moisture absorbent is subjected to water resistance treatment on the surface. Or, a manufacturing method for the moisture absorbent comprises: a step of applying the water resistance treatment to the surface of a solid moisture absorbent body; a cleaning step of performing cleaning with an aqueous solvent not containing impurities; and a drying step of drying the aqueous solvent. Or, a manufacturing method for the precision apparatus comprises: a cleaning step of cleaning the moisture absorbent subjected to the water resistance treatment on the surface with the aqueous solvent not containing the impurities; a drying step of drying the aqueous solvent; and a step of installing the dried moisture absorbent in a precision machine.SELECTED DRAWING: Figure 2【課題】小型化を図ることができ、発塵性の問題も解消できる乾燥剤を用いた精密機器、及びこれに用いられる吸湿剤、並びに吸湿剤の製造方法及び精密機器の製造方法を提供する。【解決手段】内部空間に吸湿剤を具備し、前記吸湿剤は、表面が耐水性を有する固形物である精密機器。または、表面に耐水性処理が施された吸湿剤。または、固形吸湿剤本体の表面に耐水性処理を施す工程と、不純物を含まない水系溶媒で洗浄する洗浄工程と、前記水系溶媒を乾燥する乾燥工程とを具備することを特徴とする吸湿剤の製造方法。または、表面に耐水性処理が施された吸湿剤を不純物を含まない水系溶媒で洗浄する洗浄工程と、前記水系溶媒を乾燥する乾燥工程と、乾燥した吸湿剤を精密機械内に設置する工程とを具備することを特徴とする精密機器の製造方法。【選択図】図2