電気回路および薄膜熱構造に関するカーボンナノチューブ・シート材料をエッチングする方法

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专利权人:

レイセオン カンパニー

发明人:

チョウ，ジェームズ・アール,タウンセンド，カール・ダブリュー

申请号：

JP20160500084

公开号：

JP6121609(B2)

申请日:

2013.06.25

申请国别(地区):

日本

年份:

2017

代理人:

摘要：

A method for etching Carbon Nanotube (CNT) sheet material for electrical circuit and thin film thermal structures. The method includes: forming an mask on a sheet of electrically conductive CNT material; and electrochemically removing unmasked portions of the CNT material.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/