油充填パッケージングにおける表面電荷耐性のためのＭＥＭＳ圧力センサフィールドシールドレイアウト

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专利权人:

センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド

发明人:

マーク ピー マクニール,ダグラス ビー ストロット,スティーヴン ピー グリーン

申请号：

JP20140231454

公开号：

JP6258185(B2)

申请日:

2014.11.14

申请国别(地区):

日本

年份:

2018

代理人:

摘要：

A pressure sensing element includes a sensing sub-element disposed on a diaphragm, the element including a shield disposed over the sub-element and configured to substantially eliminate influence of external charge on the sub-element during operation. A method of fabrication and a pressure sensor making use of the pressure sensing element are disclosed.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/