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原子間力顕微鏡を用いた表面電荷密度測定装置
- 专利权人:
- 株式会社島津製作所
- 发明人:
- 大田 昌弘,梅田 健一,小林 圭,山田 啓文
- 申请号：
- JP20150502609
- 公开号：
- JPWO2014132341(A1)
- 申请日:
- 2013.02.26
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- ＦＭ−ＡＦＭを用い、周波数シフト一定制御の下で、試料（３）上の或る点における周波数シフトとエネルギ散逸の探針-試料間距離依存性曲線を実測する。表面電荷密度換算処理部（２４１）は、パウリ斥力が支配的である範囲では上記曲線が指数関数に近似可能であることを利用してフィッティングを行うことにより、エネルギ散逸から電荷密度への換算式を求め記憶しておく。周波数シフト一定制御により試料（３）上の表面形状とともに該試料（３）上の各点のエネルギ散逸が求まると、表面電荷密度換算処理部（２４１）は上記換算式を用いて表面電荷密度を求め、表面電荷密度像作成部（２５３）が表面電荷密度分布像を作成し、表面凹凸像や散逸像とともに表示部（２９）の画面上に表示する。従来のように三次元的なフォースマッピングが不要
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
