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クラック耐性が向上した弾性表面波素子とその製造方法
- 专利权人:
- スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社
- 发明人:
- 八代 有史,山辺 秀樹,清水 英仁,松田 聡,西村 淳,福原 寛則,山路 徹
- 申请号：
- JP20170150663
- 公开号：
- JP2018023110(A)
- 申请日:
- 2017.08.03
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】クラックの成長を十分に抑制して破壊を防止することができる多層構造のＳＡＷ素子を提供する。【解決手段】ＳＡＷ素子は、圧電基板２２０と、圧電基板の上面２２２に形成された櫛形電極、櫛形電極を覆うべく圧電基板の上面に形成された絶縁層２３０とを含む。櫛形電極は、複数の電極指を含む。各電極指は、圧電基板の上面に形成された第１金属の第１金属層２１１と、第１金属層上に形成された第２金属の第２金属層２１２と、第２金属層の側面及び上面を覆う保護膜２１３とを含む。第２金属層は、保護膜及び第１金属層により覆われる。【選択図】図３
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
