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Plasma processing apparatus and plasma torch
专利权人:
HORI FUJIO;アルファ株式会社;ALPHA CORP;堀 富士夫
发明人:
堀 富士夫,堀 信一,堀 祐士,堀 紘英,HORI FUJIO,HORI SHINICHI,HORI YUJI,HORI HIROHIDE
申请号:
JP2019217955
公开号:
JP2020057608A
申请日:
2019.12.02
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma processing apparatus and a plasma torch capable of improving the efficiency of plasma irradiation to a processing target. SOLUTION: In a plasma torch 25 of the present invention, first and second plasma generating electrodes 25A, 25B facing each other with a cylindrical insulating pipe 25P corresponding to a hollow insulating member interposed therebetween are attached. As a result, when a voltage is applied to the first and second plasma generation electrodes 25A and 25B while the plasma generation gas is being supplied, plasma is generated between the first and second plasma generation electrodes 25A and 25B. Then, the processing target W passing through the insulating pipe 25P can be irradiated with plasma. [Selection diagram] Figure 1【課題】処理対象へのプラズマ照射の効率の向上が可能なプラズマ処理装置及びプラズマトーチの提供を目的とする。【解決手段】本発明のプラズマトーチ25では、中空絶縁部材に相当する円筒状の絶縁パイプ25Pを挟んで対向する第1及び第2のプラズマ生成電極25A,25Bが取り付けられている。これにより、プラズマ生成ガスが供給されている状態で第1及び第2のプラズマ生成電極25A,25Bに電圧が印加されると、第1及び第2のプラズマ生成電極25A,25B間にプラズマが発生し、絶縁パイプ25P内を通過する処理対象Wにプラズマを照射することができる。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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