池原 譲;独立行政法人産業技術総合研究所;木山 学;KIYAMA Satoru;榊田 創;NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;SAKAKITA Hajime;IKEHARA Yuzuru
发明人:
SAKAKITA Hajime,榊田創,IKEHARA Yuzuru,池原譲
申请号：
JPJP2011/064661
公开号：
WO2012/005132A1
申请日:
2011.06.27
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要：
Provided is a plasma irradiation treatment device that does not carry a risk of an electrical discharge to the exposed body, is able to simply and reliably begin plasma generation and is able to maintain mild plasma jet conditions stably without fluctuation. The plasma irradiation treatment device is configured from: a dielectric insulator that has an elongated hole connecting to a plasma jet； a trigger stabilising electrode； an insulator that has (A) a plasma starter/stabiliser, which an intense electric field electrode is attached to, and the elongated hole； and (B) a plasma generator that a plasma generation electrode, which performs primary plasma generation during operation, is attached to. The trigger stabilising electrode, intense electric field electrode and plasma generation electrode are covered by a dielectric that does not expose all of the electrodes and are provided to the entire space within one or more of the elongated holes that gas passes through from upstream and that ignite plasma, generate plasma and spray a plasma jet.La présente invention concerne un dispositif de traitement par irradiation plasma qui ne présente pas de risque de décharge électrique vers le corps exposé, qui est capable de commencer de façon simple et fiable la génération de plasma et qui est capable de maintenir des conditions de jet de plasma douces de façon stable sans fluctuation. Le dispositif de traitement d'irradiation de plasma est constitué de : un isolant diélectrique qui a un trou allongé relié à un jet de plasma ； une électrode de stabilisation de déclencheur ； un isolant qui a (A) un démarreur/stabilisateur de plasma, auquel une électrode de champ électrique intense est raccordée, et le trou allongé ； et (B) un générateur de plasma auquel une électrode de génération de plasma, qui effectue une génération de plasma primaire pendant le fonctionnement, est raccordée. L'électrode de stabilisation de déclencheur, l'électrode de champ électrique intense et l'électrode d
