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Plasma treatment device
专利权人:
積水化学工業株式会社;SEKISUI CHEM CO LTD
发明人:
大下 貴也,長原 悠,安宅 元晴,井上 毅,OSHITA TAKAYA,NAGAHARA YU,ATAKA MOTOHARU,INOUE TAKESHI
申请号:
JP2018168002
公开号:
JP2020039495A
申请日:
2018.09.07
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
A plasma therapy apparatus capable of acquiring information on ozone concentration. An active gas irradiation device (plasma treatment device) is provided with a plasma generating unit for generating plasma, and an injection gas containing one or both of the plasma and active gas generated by the plasma. And an irradiator 10 having a nozzle that discharges toward the object, and measures at least one of the ozone concentration in the propellant gas, the ozone concentration in the vicinity of the irradiation object, and the ozone concentration in the working environment. And an ozone concentration measuring device 80 that performs the measurement. [Selection diagram] Fig. 1【課題】オゾン濃度の情報を取得できるプラズマ式治療装置。【解決手段】活性ガス照射装置100(プラズマ式治療装置)は、プラズマが発生するプラズマ発生部と、前記プラズマ及び前記プラズマによって発生した活性ガスのいずれか一方又は両方を含む噴射ガスを被照射物に向かって吐出するノズルと、を有する照射器具10と、前記噴射ガス中のオゾン濃度、前記被照射物の近傍におけるオゾン濃度、及び、作業環境におけるオゾン濃度の少なくとも1つ以上のオゾン濃度を測定するオゾン濃度測定器80と、を備える。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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