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Plasma gas purifier
专利权人:
MSR株式会社
发明人:
宮川 健,北田 博樹
申请号:
JP2019048807
公开号:
JP2020146391A
申请日:
2019.03.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma generation unit having an anode and a cathode, which is lightweight, can arrange both electrodes concentrically at uniform intervals, has excellent corrosion resistance, and can obtain extremely high decomposition processing efficiency of VOC and the like, by plasma. Providing gas purifiers. SOLUTION: A plasma generation unit has a hollow shaft-shaped anode 4, a tubular cathode 5 concentrically arranged around the anode at predetermined intervals, and a gas flow space S1 between the anode and the cathode. And a voltage supply unit that applies voltage to the anode and cathode, and the anode and cathode are made of conductive metal layers 41 and 51 and conductive metal layers, respectively, which are made of a conductive metal sheet or a conductive metal vapor deposition film. It has a three-layer structure having inner carbon fiber composite material layers 42 and 52 laminated on the inner peripheral surface and outer carbon fiber composite material layers 43 and 53 laminated on the outer peripheral surface of the conductive metal layer by plasma. Gas purifier. [Selection diagram] FIG. 8【課題】陽極および陰極を有するプラズマ発生ユニットが、軽量で、両電極を間隔が均一な同心状に配置することができ、耐食性に優れ、きわめて高いVOC等の分解処理効率が得られる、プラズマによるガス清浄装置の提供。【解決手段】プラズマ発生ユニットが、中空軸状の陽極4と、陽極の周囲に所定間隔をおいて同心状に配置された筒状の陰極5と、陽極と陰極との間のガス流通空間S1と、陽極および陰極に電圧を印加する電圧供給部とを有し、陽極および陰極は、それぞれ、導電性金属シートまたは導電性金属蒸着膜よりなる導電性金属層41,51、導電性金属層の内周面に積層された内側炭素繊維複合材層42,52、および導電性金属層の外周面に積層された外側炭素繊維複合材層43,53を有する3層構造のものである、プラズマによるガス清浄装置。【選択図】図8
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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