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DISPOSITIF DE GÉNÉRATION ET DE DISTRIBUTION DE PLASMA BASSE TEMPÉRATURE
专利权人:
INC.;NANOVA
发明人:
CHEN, Meng,RITTS, Andrew,MA, Zhengyu
申请号:
USUS2018/023142
公开号:
WO2018/175320A3
申请日:
2018.03.19
申请国别(地区):
US
年份:
2018
代理人:
摘要:
The present disclosure provides a low plasma generation system. In one implementation, the system includes a plurality of electrodes with a grounded electrode and at least one high-voltage electrode. The grounded and the high-voltage electrodes are arranged such that a tip of the grounded electrode and a tip of the at least one high-voltage electrode have a vertical-level difference.La présente invention concerne un système de génération de plasma basse température. Selon un mode de réalisation, le système comprend une pluralité d'électrodes dont une électrode mise à la masse et au moins une électrode haute tension. Les électrodes mise à la masse et haute tension sont disposées de sorte qu'une pointe de l'électrode mise à la masse et une pointe de ladite électrode haute tension présentent une différence de niveau vertical.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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